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晶圆团簇失效报警方法和报警系统

741   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:36
本发明公开了一种晶圆团簇失效报警方法，包括：按计划执行CP测试；生成b i n坐标图；检测失效d i e相邻d i e是否失效判断是否发生晶圆团簇失效，若发生晶圆团簇失效则发出报警，并则根据需求在晶圆团簇失效区域周围的非失效d i e上形成失效标记，将具有失效标记的非失效d i e定义为失效d i e，否则执行后续计划测试。本发明能及时主动发现晶圆团簇失效并发出报警，通过失效标记能降低系统性风险，能提高生产效率，避免损失。
声明：
“晶圆团簇失效报警方法和报警系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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