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快速定位集成电路失效位置的方法及装置

873   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:35
本发明公开了一种快速定位集成电路失效位置的方法，包括：步骤S1，导通集成电路中的任意一个包含PN结的器件，并对所述集成电路失效点施加测试信号；步骤S2，使用热发射显微镜从正面和背面分别获取所述PN结和所述失效点的深度信息；步骤S3，通过比较所述PN结和所述失效点的深度信息来判断所述失效点的失效位置。能够快速定位失效位置是在芯片内部还是在封装上，提高失效分析的效率。
声明：
“快速定位集成电路失效位置的方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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