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SRAM失效在线测试方法

796   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:34
本发明提供了一种SRAM失效在线测试方法，包括：获取晶圆图像，图像包括多个SRAM的图形；对图像进行处理，获取SRAM图形的特征值；通过特征值提取相邻图形之间的最小距离；若最小距离小于阈值，则判断SRAM已失效。在本发明提供的SRAM失效在线测试方法中，通过获取SRAM的图形，对SRAM图形的处理提取SRAM图形的特征值，根据特征值判断相邻的SRAM图形的间距，从而判断相邻的SRAM图形是否有短路连接。本发明实施例提供的SRAM失效在线测试方法可以在线判断SRAM是否短路，实时识别晶圆是否出现不良，减少晶圆不良品的判断的时间，提高工作效率，提升晶圆的良率。
声明：
“SRAM失效在线测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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