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用于监测堆料机的操作失效的半导体制造自动化系统与方法

671   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:34
一种用于监测用在半导体制造自动系统中的堆料机的操作失效的方法,其中所述堆料机被分为若干操作部分。包括步骤:a)响应于从堆料机发出的堆料机状态信号产生代表堆料机的操作状态的堆料机状态信息;b)检查堆料机状态信息以更新原来存储的堆料机的操作状态;c)在包含在堆料机中的至少一部分失效时产生警报信号;和d)响应于警报信号产生音频可视警报信号。该方法在堆料机失效时可有效地提供音频可视警报信号。
声明：
“用于监测堆料机的操作失效的半导体制造自动化系统与方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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