本发明提供一种检出电子器件漏电失效点的方法,其特征在于:在漏电失效器件的过电截面上以渐增的方式加载电应力载荷,直到利用显微镜能够观察到该过电截面上出现局部烧蚀区域或局部烧熔区域,从而确定该局部烧蚀区域或局部烧熔区域即为电子器件漏电失效点。采用该方法无需具备红外显微热成像设备的实验条件下,就能够快速而简易地找到或确认元器件漏电的具体部位,特别适用于通过常规显微观察等方法所不能确定失效点的元器件。
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