合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 检测半导体设备的静电释放针脚失效的方法及半导体设备

检测半导体设备的静电释放针脚失效的方法及半导体设备

873   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-19 08:59:33
本发明提供了一种检测半导体设备的静电释放针脚失效的方法及半导体设备。半导体设备包括晶圆载盘、静电释放引脚、探针和电阻检测器。所述晶圆载盘用于承载晶圆。所述静电释放针脚设置在所述晶圆载盘边缘，静电释放针脚构造为在第一状态和第二状态间运动，在所述第一状态时触碰所述晶圆，在所述第二状态时离开所述晶圆。所述探针设置在所述晶圆载盘边缘，且适于接触处于所述第二状态的静电释放针脚。所述电阻检测器，耦接所述探针和电位参考点，以检测所述静电释放针脚的电阻值。
登录解锁全文
声明：
“检测半导体设备的静电释放针脚失效的方法及半导体设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签：
失效分析
上一个：用于检测和替代失效的数据存储器的装置、系统和方法
下一个：避雷器绝缘失效超声波自动检测装置

与 “检测半导体设备的静电释放针脚失效的方法及半导体设备” 相关技术

▪ 基于粉末挤出打印的金属陶瓷燃料制备方法
▪ 液流电池容量监控和氢气在线回收系统
▪ 高致密度钼合金板材的输送装置
▪ TA15和TC6返回料制备低成本Ti52钛合金铸锭的方法
▪ 非晶纳米晶磁性材料生产方法
▪ 高强耐磨钛合金及其制备方法
▪ 碳化硅半导体生产用单晶炉
▪ 钼合金无缝管热轧方法
▪ 基于熔池炼镁的原料进料装置及方法
▪ 分布式光伏组件、单面异质结太阳电池的制备方法

相关失效分析设备推荐

便携式非甲烷总烃分析仪
便携式气体泄漏检测仪
剥离力专用测试机架
自动升降布氏硬度计
电动反复弯曲试验机
全国热门有色金属技术推荐
江苏通用技术 北京矿山技术 江苏冶金技术 北京冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术
展开更多 +

 

中冶有色技术平台

最新更新技术

▪基于粉末挤出打印的金属陶瓷燃料制备方法
▪液流电池容量监控和氢气在线回收系统
▪高致密度钼合金板材的输送装置
▪TA15和TC6返回料制备低成本Ti52钛合金铸锭的方法
▪非晶纳米晶磁性材料生产方法
▪高强耐磨钛合金及其制备方法
▪碳化硅半导体生产用单晶炉
▪钼合金无缝管热轧方法
▪基于熔池炼镁的原料进料装置及方法
▪分布式光伏组件、单面异质结太阳电池的制备方法

报名参会
更多+

2025钨钼产业市场供需交流会
2025钨钼产业市场供需交流会
2025年10月15日 ~ 17日
2025中国特种合金材料大会
2025中国特种合金材料大会
2025年10月17日 ~ 19日
中国有色金属冶金第九届学术会议
中国有色金属冶金第九届学术会议
2025年10月23日 ~ 25日
2025中国新型储能材料大会
2025中国新型储能材料大会
2025年10月31日 ~ 11月02日
第三届关键基础材料大会
第三届关键基础材料大会
2025年11月07日 ~ 09日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:145
2 取、制样安全浅析
下载:135
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:115
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:104
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:101
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:99
7 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:99
8 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:97
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:93
10 非常规矿产品取制样方法的探讨
下载:93
赤泥综合利用研究报告2025
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记