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半导体器件失效检测方法

885   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:33
本发明公开了一种半导体器件失效检测方法，用于对所述半导体器件的栅极与源极之间进行短路检测，所述半导体器件至少包括：衬底、在所述衬底上层叠排列的多层栅极层、在所述衬底上表面分立分布的多个源极区、所述衬底的接触栓塞和所述栅极层的接触栓塞；其中，所述衬底与所述源极区之间形成PN结；所述方法包括以下步骤：在所述衬底的接触栓塞与所述栅极层的接触栓塞之间加电压，测量流过所述衬底的接触栓塞与所述栅极层的接触栓塞的电流值；基于所述电流值的测量结果，判断所述半导体器件的栅极与源极之间是否短路。
声明：
“半导体器件失效检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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