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晶圆的失效检测方法、装置、设备及存储介质

805   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:32
本申请公开了一种晶圆的失效检测方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：获取目标晶圆的预定类型的WAT数据，预定类型的WAT数据是通过第一机器学习模型从至少两种候选类型的WAT数据中确定类型的数据；调用第二机器学习模型对预定类型的WAT数据进行处理，得到目标晶圆的失效率，第二机器学习模型是根据至少一组样本WAT数据组训练得到的；输出目标晶圆的失效率。本申请通过获取目标晶圆的预定类型的WAT数据，调用第二机器学习模型对预定类型的WAT数据进行处理，得到目标晶圆的失效率，输出目标晶圆的失效率，由于目标晶圆的失效率是由第二机器学习模型预测得到的，因此能够提高获取晶圆的失效率的准确度，且提高了获取的效率。
声明：
“晶圆的失效检测方法、装置、设备及存储介质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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