本公开提供了一种可360度翻转样品的失效分析样品台及扫描电镜。其中,一种可360度翻转样品的失效分析样品台,包括换向部,其包括第一锥形齿轮和第二锥形齿轮,所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮啮合;第一锥形齿轮套设固定在第一齿轮轴上;第二锥形齿轮套设固定在第二齿轮轴上;夹持部,其安装在第二齿轮轴端部,用于夹持样品;驱动部,其与第一齿轮轴相连,用于驱动第一锥形齿轮转动,带动第二锥形齿轮原位转动,进而带动样品绕第二齿轮轴360度转动,以实现样品的原位失效分析。
声明:
“可360度翻转样品的失效分析样品台及扫描电镜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)