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互连结构失效分析样品的制作方法

597   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:30
一种互连结构失效分析样品的制作方法,包括:对样品横截面进行物理溅射工艺;通过电子显微镜对所述样品进行测试。本发明有利于失效分析对工艺参数的准确表征。
声明：
“互连结构失效分析样品的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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