合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 高阶芯片失效分析物理去层分析方法

高阶芯片失效分析物理去层分析方法

1032   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:29
本发明公开了一种高阶芯片失效分析物理去层分析方法，包括：提供芯片及芯片上待进行物理去层的关注区域，芯片包括自下而上制备于衬底上的第一金属层、第二金属层、……、第N-2金属层、第N-1金属层以及第N金属层，其中，8≤N≤10；自上而下依次刻蚀第N金属层、第N-1金属层、第N-2金属层、……、第二金属层以及第一金属层；其中，刻蚀第N-1金属层，包括：采用BOE刻蚀剂以第一刻蚀时间刻蚀关注区域内的第N-1金属层上的氧化层；采用反应离子刻蚀法以第二刻蚀时间刻蚀第N-1金属层上的氧化层至关注区域内的第N-1金属层露出金属铜；研磨金属铜至关注区域内的第N-1金属层完全去除。
声明：
“高阶芯片失效分析物理去层分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：二极管失效分析装置及其对二极管分析方法
下一个：失效分析中分析晶格缺陷的TEM样品制备新方法

与 “高阶芯片失效分析物理去层分析方法” 相关技术

▪ 环保降尘型履带式制砂机
▪ 低成本高效提取红土镍矿有价金属冶金技术组合
▪ 球磨机洗煤分离机构
▪ 具有净化过滤效果的离心式通风机
▪ 高性能811正极材料制备技术
▪ 难变形管路构件精确成形
▪ 微流体吸收脱除冶金尾气中氮氧化物
▪ 数字化、精细化爆破整体崩落回采重叠空区群矿柱关键技术
▪ 水溶液深度除氟技术
▪ 尼尔森重选含铅金矿无污染冶炼工艺

相关失效分析设备推荐

高精度土壤养分快速检测仪
便携式多气体检测仪
土壤取样器
SparkCCD 7000 全谱直读光谱仪
数显洛氏硬度计HRS-150
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪环保降尘型履带式制砂机
▪低成本高效提取红土镍矿有价金属冶金技术组合
▪球磨机洗煤分离机构
▪具有净化过滤效果的离心式通风机
▪高性能811正极材料制备技术
▪难变形管路构件精确成形
▪微流体吸收脱除冶金尾气中氮氧化物
▪数字化、精细化爆破整体崩落回采重叠空区群矿柱关键技术
▪水溶液深度除氟技术
▪尼尔森重选含铅金矿无污染冶炼工艺

报名参会
更多+

2024关键金属选冶及高纯制程技术交流会
2024关键金属选冶及高纯制程技术交流会
2024年07月12日 ~ 14日
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024年08月07日 ~ 09日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记