本发明公开一种提高绝缘体击穿电压失效分析效率的测试结构,包括:若干并联电容,每一个电容的上极板均通过第一接线连接第一金属垫,每一个电容的下极板均通过第二接线连接第二金属垫,其特征在于,还包括:第三金属垫,通过第三接线连接所述第二接线;第四金属垫,通过第四接线连接所述第一接线。本发明的优点是:采用新的测试结构后,对测试结果没有影响,同时在失效分析时也能保证绝大部分样品能找到失效位置。
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