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高稳定性单晶硅压差传感器

985   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:26
本发明公开了一种高稳定性单晶硅压差传感器，所述高稳定性单晶硅压差传感器包括有传感器壳体，所述传感器壳体包括有传感器正压腔，传感器负压腔，以及设置于传感器壳体内部的传感器芯片；传感器正压腔中设置连通至传感器芯片下端面的第一通油孔，传感器负压腔中设置有连通至传感器芯片上端面的第二通油孔；所述传感器壳体中设置有，由传感器壳体外部分别连通至第一通油孔与第二通油孔的充油管道；所述传感器芯片连接有电性接口；采用上述技术方案的高稳定性单晶硅压差传感器，其可通过硅油进行压力的无损传递，以实现对压力差的精确测量，从而有效改善了压差传感器的静压性能，进而使得上述压差传感器的工作稳定性得以提高。
声明：
“高稳定性单晶硅压差传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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