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同时激发纵-横波的ZnO压电涂层材料及其制备方法与应用

1047   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-19 08:59:26
本发明提供一种同时激发纵‑横波的ZnO压电涂层材料的制备方法，包括在基体上依次形成结合层、ZnO压电涂层、保护层和电极层；其中，ZnO压电涂层的制备方法包括：真空条件下，采用Zn靶材或ZnO靶材，通过磁控溅射在所述结合层表面形成ZnO压电涂层；所述磁控溅射中，通入氩气与氧气的混合气体；所述混合气体中，氩气与氧气的流量比为2:1～1:3。本发明还提供一种基于上述制备方法制得的ZnO压电涂层材料，ZnO压电涂层在基体表面呈现不同的取向，具有能够同时被超声波的横波和纵波激发的特性。本发明还提供一种智能螺栓，其表面设有上述ZnO压电涂层材料，能够同时被超声波横波和纵波激发，进而能够简化预紧力计算步骤，易于实现螺栓预紧力的高精度无损测量。
声明：
“同时激发纵-横波的ZnO压电涂层材料及其制备方法与应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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