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Mirau型超分辨率干涉显微物镜

695   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:24
本发明公开了一种Mirau型超分辨率干涉显微物镜，利用干涉显微物镜实现亚纳米级轴向分辨率，利用微球透镜突破衍射极限，实现二维横向超分辨。本文提出将干涉显微物镜和微球透镜相融合的超分辨干涉显微物镜，在干涉显微物镜和待测样品之间加入微球透镜，优化设计参考平板、分光平板、显微物镜的参数，获得清晰的三维超分辨干涉条纹，实现三维高分辨率成像。本方法能够以简单的光学手段实现横向超分辨，获取待测微结构的三维高分辨信息，无需对样品进行复杂的标记处理，可以实现快速、无损的测量，具有很强的实用价值。
声明：
“Mirau型超分辨率干涉显微物镜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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