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超强度微针阵列制造方法

991   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:58
本发明公开了一种超强度微针阵列制造方法，包括以下操作步骤：S1：将PMMA微针阵列作为原始模具，利用移动X射线曝光并制作PMMA微针；S2：将S1制作得到的PMMA微针通过PDMS转模形成二次模具，在PDMS的基础上涂一层导电材料，并且将铬/铜在PMMA微针表面进行溅射，从而制作PMMA微针阵列铬/铜种子层；S3:在S2的基础上进行镍/金刚石复合电镀；并且在镍/金刚石复合电镀的过程中加入坑抑制剂。通过上述方式，本发明所设计的镍/金刚石微针阵列具有无损伤，高强度，易操作的优势，金刚石针尖有助于使量子纳米传感变得更具成本效益和实用性，也可用于进行诸如电磁场、温度或应力的高灵敏度纳米级测量。国内这种超强度的微针阵列尚有欠缺，发展前景广阔。
声明：
“超强度微针阵列制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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