本实用新型提供了一种吸收型偏振不敏感的太赫兹生物传感器。该生物传感器为五层结构,由下到上分别为:硅基底、金属反射层、微流通道、金属微结构、聚酰亚胺盖层。谐振结构由四个开口谐振环组成对称结构,通过反射层增强电磁波与分析物之间的接触。该生物传感器在0.4‑0.9THz内可以产生吸收率为99%的吸收峰,灵敏度达到0.225THz/RIU。本新型结构具有偏振不敏感特性,可以应用于微量物质无损检测、生物医学等的研究中。
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