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用粘附性判定标准值判断薄膜粘附性好坏的一种方法

773   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:55
本发明提供用粘附性判定标准值判断薄膜粘附性好坏的一种方法，包括：利用指数内聚力模型的势函数作为薄膜衬底结构中薄膜衬底界面单元的本构模型，建立考虑界面粘附性的有限元模型；获得衬底和薄膜间最大界面应力随粘附性变化而变化的趋势；利用获得的最大界面应力随参数σmax/δn变化而变化的趋势图，来确定粘附性判定标准值；将最大界面应力饱和值的95％设置为最大界面应力标准值，把最大界面应力标准值对应的参数σmax/δn的取值作为粘附性好坏的判定标准值；检测样片的粘附性值；根据粘附性判定标准值判断得出样片粘附性好坏。本发明可无损、快速、准确的判断出薄膜与衬底间的粘附性的好坏。
声明：
“用粘附性判定标准值判断薄膜粘附性好坏的一种方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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