一种磁致伸缩薄膜
复合材料及其制备方法,所述薄膜复合材料由防护层、磁致伸缩层、柔性衬底层依次复合而成,所述磁致伸缩层的化学式为:(Tb
1‑xDy
x‑δN
δ)(Fe
1‑yM
y)
z,其中0.60≤x≤0.80,0≤y≤0.2,1.8≤z≤2.2,0≤δ≤0.3,M代表B、Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Zn、Ga、Nb、Ta和W中1种或2种以上的组合,N代表除Tb和Dy以外的其它
稀土元素中1种或2种以上的组合。本发明的磁致伸缩薄膜复合材料界面复合强度高、结构简单、有效避免了磁致伸缩层的损伤,具有良好的压磁系数(d
33),交变频率涡流损耗小、性能稳定、尺寸轻薄,非常适合制备磁‑声换能器和超声波无损检测传感器。
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