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硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用的方法

1047   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:52
一种硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，属于硅晶圆线切割领域，主要包括1）水冲洗；2）酸液浸泡；3）混合试剂浸泡；4）氧化剂浸泡；5）水养备用这五个步骤；解决了硅晶圆线切割液回收行业树脂失效后难复苏等问题。本发明引进的强氧化剂NaClO将杂质中大分子有机物氧化成小分子有机物，在高速搅拌的情况下，使其更容易与树脂分离。由于接触时间短，温度控制合理，对树脂的本体及交换基团无损坏。本发明针对由金属离子、可溶性金属络合物、可溶性硅化物、有机物等引起的离子交换树脂失效，复苏后离子交换能力均能明显恢复。通过实验检测和现场实践，复苏后离子交换树脂，其性能未发生改变，交换容量基本达到新树脂的水平。
声明：
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