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基于光子晶体的液体传感器

847   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:51
本实用新型涉及液体检测技术领域，提供了一种基于光子晶体的液体传感器，包括有厚度为h2的单晶硅层2；单晶硅层2向上延伸出若干个周期性排列的单晶硅圆柱体1，单晶硅圆柱体1的厚度为h1、半径为r，水平相邻单晶硅圆柱体之间水平间距为a，竖向相邻单晶硅圆柱体之间的垂直间距为b；单晶硅层2下表面固定有厚度为h3的银衬底3，且h3＞＞h1、h2。本实用新型提供的液体传感器对环境介质具有高灵敏性，能够进行高精度、无损测量。
声明：
“基于光子晶体的液体传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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