本发明涉及一种表征薄膜残余应力的方法,包括:采用薄膜/衬底结构的样片,控制激光器发射出一定频率和能量的短脉冲激光束,在样片表面汇聚成线性激光束,样片表面产生超声表面波;压电传感器探测,并采集离散时域电压信号;得到实验频散曲线;建模并得到无残余应力状态下的薄膜/基底模型理论频散曲线;将实验频散曲线与理论频散曲线进行比较,定性确定样片薄膜残余应力的大小排列。本发明可以快速、无损检测薄膜残余应力。
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