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表征薄膜残余应力的方法

607   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:51
本发明涉及一种表征薄膜残余应力的方法，包括：采用薄膜/衬底结构的样片，控制激光器发射出一定频率和能量的短脉冲激光束，在样片表面汇聚成线性激光束，样片表面产生超声表面波；压电传感器探测，并采集离散时域电压信号；得到实验频散曲线；建模并得到无残余应力状态下的薄膜/基底模型理论频散曲线；将实验频散曲线与理论频散曲线进行比较，定性确定样片薄膜残余应力的大小排列。本发明可以快速、无损检测薄膜残余应力。
声明：
“表征薄膜残余应力的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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