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高稳定性单晶硅压差传感器

1133   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:51
本实用新型提供了一种高稳定性单晶硅压差传感器，包括传感器、传感器接口和隔离片，传感器上方中部固定连接有传感器接口，传感器左右两侧均固定连接有隔离片，通过硅油腔内部左右两侧均固定设有液位传感器设置，硅油进行压力的无损传递，以实现对压力差的精确测量，从而有效改善了压差传感器的静压性能，进而使得上述压差传感器的工作稳定性得以提高，且液位传感器设置能有效监测到硅油的含量多少，便于及时添加，达到传感器工作及时供给，促进提升工作效率，解决了现有的压差传感器其在检测过程中，往往由于传感器的内部结构以及芯片的布局，导致传感器的静压性能效果不好，从而致使传感器在工作过程中的工作稳定性较差的问题。
声明：
“高稳定性单晶硅压差传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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