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涡流膜厚传感器

699   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:50
本发明公开了一种涡流膜厚传感器，涉及无损检测技术领域。该传感器包括：激励线圈、对消线圈、磁传感器、激励电路和驱动分析电路，其中，激励线圈位于待测样品的上方，用于产生激励磁场；对消线圈与激励线圈串联连接，且与激励线圈同轴，用于产生对消磁场；磁传感器位于激励线圈与对消线圈之间，用于测量待测样品、激励线圈与对消线圈之间的磁感应强度信号；激励电路分别与激励线圈和对消线圈连接，用于产生激励信号；驱动分析电路分别与激励电路和磁传感器连接，用于根据激励信号和磁感应强度信号确定待测样品的膜厚。本发明能够降低涡流膜厚测量对设备动态范围的要求，使磁传感器的高灵敏性能可以充分发挥，因此可以大幅提高膜厚分辨能力。
声明：
“涡流膜厚传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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