本发明公开了一种高通量筛选软磁材料磁导率的装置及方法。所述高通量筛选软磁材料磁导率的装置包括:测试探头,所述测试探头包括谐振电路,所述谐振电路的谐振频率和反射参数能够被待测样品影响而发生变化;矢量网络分析仪,其与所述测试探头电连接,并用于测量所述谐振电路的谐振频率和反射参数;数据处理机构,其至少用于对接收的多组谐振频率和反射参数进行处理,并获得待测样品的磁导率;三维移动平台,其至少用于放置待测样品,并以指定姿态将待测样品移动至指定的测试位置,同时测量所述待测样品与测试探头之间的距离。本发明可以实现待测样品的高通量实时测量,对于多个样品可以实现连续、无损的快速检测,且具有较高的分辨率与灵敏度。
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