本发明公布一种可接收和发射超声的微透镜阵列,包括采用高光学透过率的压电材料制作的基层底板、具有高光学透过率的电极层、具有高光学透过率的声匹配层、具有高光学反射率的光学掩膜。该微透镜阵列可同时实现大视场的光学阵列式显微聚焦、超声阵列式发射和接收等光学和声学的两类功能,具有结构简单、体积小、重量轻等优点,便于大面积工业制备和系统集成,有望应用于采用激光超声技术开发的生物身份识别、医学成像诊断、工业无损检测、多功能水下检测机器人等领域。
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