本发明的一种多铁性材料纳米尺度畴结构的原位集成表征装置,包括:用于对被测多铁性材料进行多铁性畴结构的原位激发以使该被测多铁性材料的激励点产生畴结构成像信号的原子力显微镜原位激励平台;对所述畴结构成像信号进行原位实时检测和数据处理并实时显示所述多铁性畴结构的原位成像表征结果的原位检测平台。采用本发明,能够有效进行多铁性材料纳米尺度铁电畴、铁磁畴的原位、无损、实时、动态、集成表征。
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