本实用新型涉及一种红外热波层析成像无损检测装置,采用高功率激光束,由激光扫描装置对样品的表面进行快速扫描,实现脉冲热激励。本实用新型系统包括包括数据采集单元、扫描控制单元、高功率激光器、红外热像仪、激光扫描装置等。激光器输出光束在样品表面上进行扫描,激发的热波信号由红外热像仪成像并送到数据采集控制单元。数据采集控制单元同时控制振镜和红外热像仪,使得激光束扫描的行频和红外热像仪的读出行频一致,但帧频之间有一步进的延迟增量。目前的红外热波层析成像的采样周期受限于红外热像仪的帧频,本实用新型采用激光移相扫描技术有效地解决了这个问题,使得检测的时间分辨率大幅提高,采样周期从传统的帧频提高到行频,达到微秒量级,十分有利于浅层缺陷的检测。
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