本实用新型公开了一种晶粒分类机,包括架体、晶粒吸取装置、晶圆承载盘、视觉检测装置以及控制装置。晶粒吸取装置可旋转设置于架体上,晶粒吸取装置包括吸嘴;晶圆承载盘设置于架体上且可被控制得能在yz平面内移动,晶圆承载盘具有一晶圆承载槽;视觉检测装置与晶粒吸取装置并列排设于架体上,视觉检测装置用于获取晶粒吸取装置中吸嘴的图像信息,以及用于获取吸嘴吸取目标晶粒后的图像信息;控制装置连接晶粒吸取装置、晶圆承载盘以及视觉检测装置,至少用于控制晶圆承载盘的移动,控制晶粒吸取装置以及视觉检测装置的运作。本实用新型的晶粒分类机能够准确地且无损的挑起并吸取晶粒,提高晶粒的挑选良率。
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