本发明涉及高频3-3型复合压电陶瓷元件的制作方法,包括取软性压电材料粉料与造孔剂混合,装入模具中施加3000Kg~4000Kg/cm2压力成型,然后放在密闭的刚玉坩埚中,在高温炉中以每小时20~50℃的升温速度直至600℃进行排塑,烧结成多孔结构的坯体;配制取与步骤1)相同的软性压电材料粉料,添加松油醇或者环酮类溶剂,乙基纤维素粘合剂,并充分混合均匀成胶体:通过旋涂工艺将步骤2)制备好的胶体,旋涂在步骤1)制得的多孔结构的坯体上、下表面,烘干制得到带有上、下致密层的素坯;经排塑烧结:再进行极化得到3-3型压电复合元件。该方法制得复合压电元件厚度能降低至0.2mm,频率可以高达10MHz。这在超声无损检测和医用超声领域中有着广阔的应用前景。
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