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接触照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板

1115   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:43
以接触式照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板,本发明以应力双折射方法测得的应力值表示基板强度,适用于生产的玻璃基板的应力值范围为100—200nm,并且是至少三点的极大应力值;使用本发明确定的玻璃基板具有无在线炸裂现象、研磨性能好、再生使用次数增加的优点,为玻璃基板的在线使用提供了无损的定量检测依据,能使荫罩版的生产成本降低。
声明:
“接触照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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