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精准推进探针的方法

904   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:43
本发明提供一种精准推进探针的方法,该方法能够对薄膜进行无损测量,尤其适用于半导体半导体薄膜,具体地,利用感应收缩簧的感应端超出导电弹性针头的一定距离进行测距,并根据测距结果控制推进速度和时间,且能够监测到探针与纳米级厚度薄膜的接触应力大小。该探针方法适合对半导体半导体薄膜进行无损、稳定、可重复的准确检测,同时也适合推广到其它薄膜材料的电学检测。
声明:
“精准推进探针的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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