本发明提供一种精准推进探针的方法,该方法能够对薄膜进行无损测量,尤其适用于半导体半导体薄膜,具体地,利用感应收缩簧的感应端超出导电弹性针头的一定距离进行测距,并根据测距结果控制推进速度和时间,且能够监测到探针与纳米级厚度薄膜的接触应力大小。该探针方法适合对半导体半导体薄膜进行无损、稳定、可重复的准确检测,同时也适合推广到其它薄膜材料的电学检测。
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