本实用新型公开了一种计量级3D超景深共焦显微系统,涉及光电无损3D检测技术领域;该显微系统包括光学显微镜、光谱共焦传感器、xyz轴电动位移平台以及控制模块和PC处理器;xyz轴电动位移平台包括xy轴平移台和z轴升降模块,光学显微镜配置有照明光源和图像采集单元,控制模块包括xyz电动控制单元、与光谱共焦传感器连接的光谱共焦处理器以及电源模块,图像采集单元用于采集目标检测区域的图像信息,并将图像信息传输至PC处理器;通过实施本技术方案,能够无损观察样品,并能够超大面积对材料表面的微观状态进行拍照、3D真彩色成像及3D精准测量,实现计量级的检测精度,并保有微观样品的细节与真实颜色,具有很好的应用前景。
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