本发明涉及一种激光扫描热波成像方法,采用高功率激光束,由光束偏转装置控制对样品的表面进行快速扫描,实现脉冲热激励。利用脉冲激励的快速降温周期进行移相热波无损检测,探测近样品表面的缺陷。再利用激光重复扫描积累的热能在退温时的长周期进行常规热波无损检测,探测样品深部的缺陷。这样通过在激光扫描热激励和去激励过程采用不同的热波检测方法,实现对样品从浅表层到内部深层缺陷的同时探测。
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