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InAs/GaSb超晶格红外探测器及其制作方法

891   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:40
本发明公开了一种InAs/GaSb超晶格红外探测器及其制作方法，针对现有技术中，在外延生长数百周期InAs/GaSb超晶格材料时，InAs与GaSb之间存在晶格失配，累积的应力导致InAs/GaSb超晶格材料中形成大量的生长缺陷的问题，本发明提出一种两步Sb浸润的方法，在生长InAs层之后先沉积一层Sb，形成富Sb表面，然后沉积In，之后再沉积一层Sb，使In与Sb充分反应，形成高质量的InSb界面层，以此平衡和消除InAs与GaSb之间的应力，提高InAs/GaSb超晶格材料的质量。同时，本发明在InAs/GaSb超晶格结构和GaSb衬底之间引入AlAsSb牺牲层，实现了衬底的无损剥离。
声明：
“InAs/GaSb超晶格红外探测器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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