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用于微机电系统监测的光纤探针

1163   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:39
本发明提供的是一种用于微机电系统监测的光纤探针。其特征是：它由单模光纤1，大芯径渐变折射率光纤2，二元菲涅尔透镜3，待测物4，位移台5，光源6，三端口环形器7，光功率计8，计算机9组成。本发明可用于微机电系统的便携、非接触式无损监测，可广泛用于光纤传感等领域。
声明：
“用于微机电系统监测的光纤探针” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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