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用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法

1275   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:38
本发明涉及用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法。提供了一种用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法,包括:获取MEMS微梁的结构参数、吸合电压、第一固有频率和振型函数;根据结构参数、吸合电压、第一固有频率和振型函数,确定间隙距离的第一估计值;获取施加偏置电压后MEMS微梁的第二高度和第二固有频率;根据结构参数、吸合电压、偏置电压、第二高度、第二固有频率、振型函数以及第一估计值,确定间隙距离的第二估计值;根据MEMS微梁的结构参数、振型函数、第二估计值、第二高度以及吸合电压或第一固有频率,确定MEMS微梁的杨氏模量。上述方法能够在微梁厚度未知的情况下测量微梁材料的杨氏模量,实现杨氏模量的高精度无损原位测量。
声明:
“用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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