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用于原位测量MEMS微梁的厚度的方法及装置

988   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:38
本发明涉及用于原位测量MEMS微梁的厚度的方法。提供了一种用于原位测量MEMS微梁的厚度的方法,该方法包括:获取MEMS微梁的结构参数;获取MEMS微梁的吸合电压、固有频率和振型函数;根据MEMS微梁的结构参数、吸合电压、固有频率和振型函数,确定MEMS微梁的厚度。MEMS微梁的结构参数包括MEMS微梁的长度、宽度和高度,高度为MEMS微梁的上表面与位于MEMS微梁下方的底部电极的上表面之间的距离。上述用于原位测量MEMS微梁的厚度的方法,由于根据MEMS微梁的结构参数、吸合电压、固有频率和振型函数,确定所述MEMS微梁的厚度,因此能够实现微梁厚度的高精度无损在线测量,这对快速准确地评价MEMS器件的性能至关重要。
声明:
“用于原位测量MEMS微梁的厚度的方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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