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测量非透明薄膜厚度分布的双面干涉装置和方法

836   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:38
本发明提供了一种测量非透明薄膜厚度分布的双面干涉装置和方法，所述方法设置了两个物光对向、共轴的白光干涉光路，位移台带动厚度标样或薄膜样品沿物光光轴方向步进运动，同时，两个面阵探测器采集厚度标样或薄膜样品表面的形貌信息，通过厚度标样标定两个干涉物镜的干涉焦面间的距离，进而计算薄膜样品厚度分布，应用本方法制成的测量装置，无需辅助夹具，可实现非透明薄膜厚度分布的快速、无损和精确测量。
声明：
“测量非透明薄膜厚度分布的双面干涉装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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