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芯片测试定位装置

659   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:38
本实用新型公开了一种芯片测试定位装置，主动结构和固定结构之间形成有晶圆放置区和空隙区，空隙区位于晶圆放置区外，晶圆放置区用于放置具有待测试芯片的晶圆；主动结构相对于固定结构可移动设置，用于调整晶圆放置区的大小；主动结构在晶圆放置区处设有第一弧形边缘，固定结构在晶圆放置区处设有第二弧形边缘，各抵柱用于分别抵接晶圆的边缘空位以共同固定晶圆。可以采用一个芯片测试定位结构来定位晶圆，也可以同时采用多个芯片测试定位结构来定位多个晶圆以供测试芯片，可以实现可扩展定位来提升测试效率，还可以应用于各种不同规格的晶圆，提升了产品的适用性，实现了无损伤定位，必要时还可以用于对晶圆两面同时进行测试。
声明：
“芯片测试定位装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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