一种小型激光精密测长仪器,其激光干涉仪光路是无扩束望远镜的细光束干涉仪光路,精密导轨采用两根圆柱形导轨,传动丝杠与两根圆柱形导轨三轴平行放置,且呈阶梯式分布。本仪器光学元件尺寸小,机械结构紧凑,体积小,重量轻,且重心低,稳定性好,受振动影响小;既能进行接触测量,亦能进行非接触无损测量;加工容易,造价低,对使用环境条件要求低,适于推广应用。可广泛用于精密零部件的测量。
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