本发明涉及一种材料中微区金属元素的监测分析方法,属于元素测定和分析领域。该方法包括:(1)将待测样品制成测试样品,进行电子能量损失谱测量,获得微区金属元素的电子能量损失谱;(2)将电子能量损失谱数据导入数据处理软件中,拟合背底曲线;将能谱区域与背底区域分别涂色;(3)将数据谱图转换成无损压缩格式的图片,导入图像处理软件中;分别选择能谱区域的颜色和背底区域的颜色,读取所选区域的像素数;能谱与背底的相素比值与Pearson法统计获得的数据库对比,得到微区金属元素的化合价态信息。该方法的操作更为直观简便,同时该方法与常规的积分强度统计方法获得的结果偏差在0.5%以内,其准确性可以满足结果分析的要求。
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