本发明公开了一种圆片尺寸的测量装置。该装置包括:机器人,用于提供圆片测量过程中不同工位的移动,与机器人移动轴相连接的机械抓手,用于提供多种圆片的吸取;托盘机构,用于放置超薄圆片并移动至吸取工位;拍照机构,用于测量超薄圆片的内外径及圆心;测量机构,用于测量超薄圆片厚度。本发明的圆片尺寸的测量装置通过机器人带动机械抓手吸取位于托盘上不同位置处的圆片,实现不同圆片在测量工位的测量,最终根据测量结果放回托盘。本发明的圆片尺寸的测量装置利用机器人带动机械抓手完成了多种圆片无损伤移动,利用拍照机构和测量机构实现内外径及厚度测量,提高了测量精度及效率,可用于用于工业推广。
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