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晶圆膜厚测量误差补偿方法

1051   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:33
本发明公开了一种晶圆膜厚测量误差补偿方法。本发明以线性拟合结果作为初始猜想,采用多变量优化拟合总光程差曲线,从而得到更接近真实情况的WLRS。白光反射动态测量是广泛使用的非接触方法之一，白光反射率谱对薄膜厚度进行测量。这种方法具有无损伤，响应快，以及测量结果准确度高等优点。一束白光由点A近垂直入射待测薄膜，在S1和S2表面经过数次折射及反射后，其相位发生变化，进而形成其相应的WLRS并在信号采集区显示。WLRS与待测薄膜的厚度之间存在着一一对应关系。由此，可根据上述原理对基层表面的薄膜厚度进行非接触式的测量。
声明：
“晶圆膜厚测量误差补偿方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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