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非接触式光学镜面间隔测量装置

943   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:33
本发明涉及一种非接触式光学镜面间隔测量装置，包括：照明模块、光纤模块、两个光纤准直镜头、反射镜、直线位移传感器、光电探测器和机械调平台。本发明提出的非接触式光学镜面间隔测量装置的精度高，镜片间隔测量精度可以达到±1μm，能满足高精度光学系统的装校要求；本发明采用光学相干测量的原理，测量过程中，没有任何机械测量部件与被测镜面接触，不会对被测镜片产生损伤，属于非接触无损测量；本发明自动化程度高，将被测镜头放置在机械调平台上，完成调平之后，整个测量过程就在软件控制下进行，而且，需要的测量时间很短，提高了测量效率。
声明：
“非接触式光学镜面间隔测量装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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