本发明涉及一种介质薄膜与金属界面热阻的测量方法及系统,将介质薄膜与金属箔紧密贴紧后进行热脉冲实验得到实测热响应电流信号曲线;建立介质薄膜与金属箔的传热仿真模型,当仿真模型的理论热响应信号电流曲线与实测热响应电流信号曲线的拟合度满足预设置的收敛条件时,将仿真模型的界面热阻值作为介质薄膜与金属箔的界面热阻。与现有技术相比,本发明实现过程简单,获取实测热响应电流后,建立传热仿真模型,不断调节仿真模型的界面热阻值,直至实测热响应电流与仿真模型的理论热响应电流的拟合度满足收敛条件,测量速度快、准确度高,操作方便,对介质薄膜无损伤,能够对厚度数微米的独立介质薄膜材料与金属之间的界面热阻进行高精度测量。
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