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测量介质导体沉积界面微波表面电阻的装置及方法

973   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:33
本发明提供的一种测量介质导体沉积界面微波表面电阻的装置及方法，属于电子学领域，装置包括测试座、校准组件、密封腔和支撑板，测试座包括底端面开放的屏蔽腔、介质柱、输入耦合结构、输出耦合结构和介质支撑装置，待测介质导体样品与测试座构成TE011模式的介质谐振器；分别将校准组件和待测导体样品装配在测试座上，测得对应品质因数，进而计算得到待测介质导体样品的沉积界面微波表面电阻。本发明仅进行一次无损测量即可获得介质导体沉积界面的微波表面电阻，解决因导体层趋肤深度限制而导致无法准确测试介质导体沉积界面微波表面电阻的问题，同时具有较高的测试效率，尤其适合大批量工业化的测试。
声明：
“测量介质导体沉积界面微波表面电阻的装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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