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基于显微干涉和有限差分的微/纳悬臂梁的曲率测量方法

956   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:32
本发明公开一种基于显微干涉和有限差分的微/纳悬臂梁的曲率测量方法,是由如下过程完成:第一步,应用相移显微干涉法测量被测微/纳悬臂梁的表面弯曲数据;第二步,应用有限差分法解析出被测微/纳悬臂梁的弯曲量;第三步,将第一步得到的表面弯曲数据与第二步得到的弯曲量进行比较,从而求出测量弯曲量与解析弯曲量之间差值最小时的曲率值。本发明采用相移显微干涉法测量悬臂梁表面的弯曲量,具有高精度和高分辨率,对待测器件是非破坏的无损测量,应用有限差分法解析出悬臂梁弯曲量的实现简单,建模更加接近于真实情况,结果准确可靠,可用于微悬臂梁或纳悬臂梁(具有微米宽度和纳米厚度的纳悬臂梁)曲率的测量。
声明：
“基于显微干涉和有限差分的微/纳悬臂梁的曲率测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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