本实用新型提供了一种对
芯片无损伤、自动化程度高的半导体芯片分选测试装置的上料输送装置。包括位于工作台上的托盘上料喂料装置、取托盘装置、取芯片装置和芯片输送装置,托盘上料喂料装置负责将托盘升到合适位置供取托盘装置取托盘,取托盘装置负责将提篮中的托盘挨个取出供取芯片装置取芯片,取芯片装置负责将托盘中的芯片取出并送至芯片输送装置中,芯片输送装置负责将芯片送至检测工位;本实用新型中各芯片间碰撞、摩擦少,大大提高了芯片的良品率,降低了生产消耗,从而降低生产成本。
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