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光栅线宽比测量方法

704   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:31
本发明提出一种光栅线宽比测量方法，包括：提供SEM仪器以及已知线宽比的光栅；将一直线宽比的光栅放置于SEM仪器的载物台中央，调节放大倍数直至形成清晰地云纹条纹，记录形状参数，计算当前放大倍数下扫描线的线宽比，最终标定出一系列不同放大倍数下的SEM仪器扫描线线宽比；将未知线宽比的光栅放置于SEM载物台中央，调节SEM仪器的放大倍数直至形成清晰地云纹条纹，记录形状参数，查询前面标定得到当前放大倍数下SEM仪器扫描线的线宽比，结合反演方法计算得到未知线宽比的光栅的线宽比。本发明具有灵敏度高、测量视场大，以及SEM分辨率高、对样品无损伤、空间定位方便等优点，并且具有操作简单，过程快速、表征区域大、检测成本低等优点。
声明：
“光栅线宽比测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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